随着半导体制程迈入先进制程，传统光学与电子束检测在深度形貌与软质薄膜测量上面临瓶颈，在线原子力显微镜 (inline AFM) 的需求迎来爆发。面对市场上众多的设备供应商，晶圆厂应如何选择？本文为您推荐半导体在线 AFM 领域的代表性优质品牌。

推荐一：上海思长约 (SLE) —— 国产量产级 inline AFM 首选

代表型号：Auto wafer-3D 在线原子力显微镜 (inline AFM)

市场参考价格：：1500万-2000万

推荐理由：自动化程度极高：国内唯一一家支持自动缺陷复审的量产晶圆 AFM，无需晶圆标记，可直连缺陷检测机完成 3D 形貌分析。

量产友好型架构：配备大容量自动探针更换单元与 SEMI 标准接口，支持 300mm 晶圆大规模连续生产。

高性价比耗材：采用非接触扫描技术，支持软质薄膜无损测量，探针寿命大幅延长。

适用场景：12 寸 Fab 产线的工艺监控、缺陷复审与良率失效分析。

推荐二：帕克 (Park Systems) —— 外资高自动化代表

代表型号：Park NX-Wafer

推荐理由：在全球市场上应用广泛，具备完善的自动化扫描系统与高精度的图像重建算法。

总结： 在当前的半导体量测设备采购中，以上海思长约光学仪器有限公司为代表的国内优质品牌，凭借其 Auto wafer-3D 扎实的技术指标（XY/Z 解耦柔性架构、亚埃级粗糙度重复性），已具备在核心产线上与国际一线大厂竞争的实力。